特許
J-GLOBAL ID：200903037624414965

粒状体搭載方法および粒状体搭載装置

発明者：
増田 二紀

増田 二紀 について

, 
小野崎 純一

小野崎 純一 について


出願人/特許権者：
株式会社タムラ製作所

株式会社タムラ製作所 について


代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-027528
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231746
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：
【要約】【課題】 微細な粒状体の供給、搭載、回収および再供給を自動化する。【解決手段】 ベース板11上に粒状体搭載相手部材13を設置し、さらにその上側にマスク14を配置する。マスク14は、移動電界により推移する静電気力でマスク14上の粒状体15を移送しながら、位置決め孔17により粒状体15を粒状体搭載相手部材13上に搭載する平板状の静電リニアモータである。マスク14の上側に、位置決め孔17に落下しなかった粒状体15aを回収してマスク14上の粒状体供給側に循環させる粒状体循環機構31を設ける。この粒状体循環機構31は、粒状体15を回収する粒状体回収部32と、回収した粒状体15を移動電界により推移する静電気力で供給側へ返送する管状の静電リニアモータ33と、その粒状体15をマスク14上に供給する粒状体供給部34とを、連続的に設けたものである。
請求項（抜粋）：
複数の位置決め孔が設けられたマスク上に位置決め孔の数より十分な量の粒状体を供給し、マスク上の粒状体を移動電界により推移する静電気力で移送しながらマスクの各位置決め孔に落下させ、各位置決め孔の下側にそれぞれ位置する粒状体搭載相手部材の粒状体搭載部に粒状体を搭載し、位置決め孔に落下しなかった余分な粒状体を回収し、移動電界により推移する静電気力でマスク上の粒状体供給側に循環させることを特徴とする粒状体搭載方法。
引用特許：
審査官引用 (5件)
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