特許
J-GLOBAL ID：200903037661301810

共振器の製造方法

発明者：
リチャード・シー・ルビー

リチャード・シー・ルビー について

, 
ジョン・ディー・ラーソン・サード

ジョン・ディー・ラーソン・サード について

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ポール・ディー・ブラッドリー

ポール・ディー・ブラッドリー について


出願人/特許権者：
アジレント・テクノロジーズ・インク

アジレント・テクノロジーズ・インク について


代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057312
公開番号（公開出願番号）：特開2002-335141
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：
【要約】【課題】同一基板上に共振周波数の異なる共振器を組立てる。【解決手段】基板(132)上に共振器(140)を製造する方法では、底部電極(142)を作り、圧電(PZ)層(134)を作り、表面電極層(136)を作り、表面負荷層(138)を作り、前記表面負荷層(138)をオーバーエッチングし、前記表面負荷層(138)と前記表面電極層(136)が、表面電極(146+148)を形成するようにエッチングする。
請求項（抜粋）：
基板上に共振器を製造する方法において、底部電極を作り、圧電(PZ)層を作り、表面電極層を作り、表面負荷層を作り、前記表面負荷層をオーバーエッチングし、前記表面負荷層と前記表面電極層が、表面電極を形成するようにエッチングする共振器の製造方法。
IPC (4件)：
H03H 3/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/17
FI (4件)：
H03H 3/02 B ,  H03H 9/17 F ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 C
Fターム (9件)：
5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108FF03 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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