特許
J-GLOBAL ID:200903037769683638

加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-036301
公開番号(公開出願番号):特開2009-194326
出願日: 2008年02月18日
公開日(公表日): 2009年08月27日
要約:
【課題】順番間違えや作業抜かしを生ずることなく加工条件等の入力設定操作を適正に行わせることができる加工装置を提供する。【解決手段】操作パネル1が、操作画面60の一部に、加工手段により被加工物に対する加工開始から加工終了までに設定操作を要する一連の操作項目、例えば「デバイスデータ選択」「データ編集」「カット準備」「カット実行」「ワーク取り外し」を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部51を有することで、操作項目毎の操作順序を常に明確にし、順番間違えや作業抜かしを生じないようにした。【選択図】 図13
請求項(抜粋):
被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を加工する加工手段と、前記保持手段に保持された被加工物の表面を撮像する撮像手段と、前記加工手段および前記撮像手段を含む当該加工装置の構成要素を制御する制御手段と、該制御手段に対して加工条件、その他の情報を入力設定する操作画面を表示する操作パネルとを備える加工装置であって、 前記操作パネルは、前記操作画面の一部に、前記加工手段が被加工物に対して加工開始から加工終了までに要する設定のための一連の操作項目を、カテゴリー別に大別し、設定操作を要する順番で時系列に図表化して表示する操作フロー表示部を有することを特徴とする加工装置。
IPC (4件):
H01L 21/301 ,  B24B 17/04 ,  B24B 17/10 ,  B24B 27/06
FI (4件):
H01L21/78 F ,  B24B17/04 Z ,  B24B17/10 P ,  B24B27/06 K
Fターム (27件):
3C049AC02 ,  3C049BA01 ,  3C049BA07 ,  3C049BB02 ,  3C049BB06 ,  3C049BB08 ,  3C049BC01 ,  3C049BC02 ,  3C049CA05 ,  3C049CB03 ,  3C049CB04 ,  3C058AA04 ,  3C058AA13 ,  3C058AB03 ,  3C058AC02 ,  3C058BA01 ,  3C058BA02 ,  3C058BA07 ,  3C058BA14 ,  3C058BB02 ,  3C058BB06 ,  3C058BB09 ,  3C058BC01 ,  3C058BC02 ,  3C058CA05 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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