ウエーハの加工結果管理方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-173729
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004806
出願日： 2006年06月23日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】量産時の加工品質の管理が容易な上に表面品質の経時変化を所望時に目視で確認することができるウエーハの加工結果管理方法を提供する。【解決手段】形成された切削溝を撮像手段に位置付けて撮像するカーフチェック毎(ステップS108)に生成される切削溝データを画像情報とともにその位置情報に関連して記憶手段に累積的に記憶させておき(ステップS110)、また、ウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップとして表示するとともにカーフチェックの位置情報を示すマークもウエーハマップ上に併せて表示させ(ステップS111)、該マークを利用した所望のカーフチェック箇所の指定により切削溝データとともに画像情報を表示パネル上に再生するようにした。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を表示する表示パネルと、前記チャックテーブルに保持されたウエーハを加工する加工手段と、該加工手段と前記チャックテーブルとを相対的にX軸方向に加工送りする加工送り手段と、前記加工手段と前記チャックテーブルとを相対的にY軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を備える加工装置におけるウエーハの加工結果管理方法であって、前記加工送り手段および前記割り出し送り手段を作動して前記加工手段でウエーハの分割予定ラインに切削溝を形成する切削ステップと、該切削ステップで切削された前記切削溝を定期的またはランダムに前記撮像手段に位置付けて該切削溝を撮像して画像情報を生成するとともに切削溝データを生成し、前記撮像手段とウエーハとの位置をXY座標で示す位置情報に関連して前記画像情報と前記切削溝データとを記憶手段に記憶する記憶ステップと、前記表示パネルにウエーハの形状と分割予定ラインの模式図をウエーハマップとして表示するとともに前記記憶ステップで記憶された前記位置情報を示すマークを表示する表示ステップと、該表示ステップで表示された前記マークを指定して対応する前記画像情報と前記切削溝データとを前記表示パネルに再生する再生ステップと、を備えることを特徴とするウエーハの加工結果管理方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , H01L 21/66

FI (3件)：

H01L21/78 C , H01L21/78 F , H01L21/66 A

Fターム (8件)：

4M106AA01 , 4M106BA10 , 4M106BA11 , 4M106CA50 , 4M106DA15 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23

引用特許：

出願人引用 (1件)

カーフチェック方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-300812 出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (13件)

ダイシング方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-020701 出願人：株式会社ディスコ
ダイシング装置の加工状態表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-336257 出願人：セイコー精機株式会社
NC機械における加工進捗の表示方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-113265 出願人：株式会社アマダ

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