特許
J-GLOBAL ID：200903040816406851
算出装置、設定装置、基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-195626
公開番号（公開出願番号）：特開2006-019499
出願日： 2004年07月01日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 適切な装置タクトを基板処理装置に設定するための算出装置及び設定装置、並びに適切な装置タクトを設定することのできる基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板処理装置の装置タクトを設定する設定装置2に、各処理ユニット12〜15の動作機構のパラメータの値を記憶するパラメータ値記憶部34と、パラメータ値記憶部34に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための入力部36と、パラメータ値記憶部34に記憶されたパラメータの値を用いた場合の各処理ユニット12〜15の処理時間を求める処理時間算出部222と、処理時間算出部222により求められた処理時間を操作者に報知する表示部31と、操作者が装置タクトを入力するための入力部36と、入力部36により入力された装置タクトを処理ユニット群12〜15に基板を投入する装置11,21に設定する装置タクト送信部38とを備える。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
基板に一連の処理を施す複数の処理ユニット群に対して基板を連続的に投入する際の時間間隔を算出する算出装置であって、
前記各処理ユニットの動作機構の動作速度と処理時間の少なくともいずれか一方であるパラメータの値を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を操作者が変更するための変更手段と、
前記記憶手段に記憶されたパラメータの値を用いた場合の前記各処理ユニットの処理時間を求める処理時間取得手段と、
前記処理時間取得手段により求められた前記処理時間を操作者に報知する報知手段とを備える算出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 562
, H01L21/02 Z
5F046HA07
, 5F046JA22
, 5F046KA10
