特許
J-GLOBAL ID：200903037928505053

レチクル製造方法

発明者：
吉村 隆

吉村 隆 について

, 
場生松 武志

場生松 武志 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-256920
公開番号（公開出願番号）：特開2004-094044
出願日： 2002年09月02日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】EB描画データに含まれるデータ変換エラー等の欠陥をレチクル製造前に検出することによって、レチクル検査工程を簡略化し、EB描画装置及びレチクル検査装置等の有効稼働率を向上させ、レチクル製造に要する時間を短縮し製造コストを削減できるレチクル製造方法を提供する。【解決手段】レチクル設計データであるCADデータ1を第1及び第2データ変換装置2、5に入力し、データ変換されて出力されるEB描画データ3及び検査データ6をデータ検証装置8に入力し、EB描画前にデータ変換エラーの有無を検証する。データ検証装置8でデータ変換エラーが検出されなければ、EB描画データ3によりEB描画装置4で描画前レチクル9上にパターンをEB描画及び現像し、製造された現像済みレチクル11を検査データ6によりレチクル検査装置7で検査する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レチクル設計データであるCADデータを第1データ変換装置による電子ビーム描画データと第2データ変換装置による検査データとにデータ変換し、前記電子ビーム描画データと前記検査データとをデータ検証装置で比較してデータ変換エラーの有無を検証し、前記電子ビーム描画データが前記CADデータを正しくデータ変換したデータであることを検証した後に前記電子ビーム描画データを用いてレチクルを製造し、前記検査データにより前記レチクルの品質検査をすることを特徴とするレチクル製造方法。
IPC (2件)：
G03F1/08 ,  H01L21/027
FI (3件)：
G03F1/08 A ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 502P
Fターム (3件)：
2H095BB01 ,  2H095BD02 ,  2H095BD28
引用特許：
審査官引用 (4件)
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