特許
J-GLOBAL ID：200903038278668609

基板搬送処理装置

発明者：
山畑 博史

山畑 博史 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052845
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233584
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 装置の小型化、スループットの向上及び製品歩留まりの向上を図る。【解決手段】 ウエハ搬入・搬出部2と処理部3との間で複数のウエハWを受け渡すインターフェース部4に配設される姿勢変換装置30と、処理部3とインターフェース部4とでウエハWを搬送するウエハ搬送チャック51と、姿勢変換装置30とウエハ搬送チャック51との間に位置して複数のウエハWを垂直状態に所定の間隔をおいて整列保持するピッチチェンジャ20とを具備する。ピッチチェンジャ20は、ウエハWを保持する複数の保持溝21a,21bを列設した一対の側部保持部材22a,23a;22b,23bと一対の下部保持部材24a,25a;24b,25bとからなる第1の保持部21Aと第2の保持部21Bとを具備し、第1の保持部21Aと第2の保持部21Bとを相対的に昇降可能に形成して、第1の保持部21Aと第2の保持部21Bのいずれか一方の保持部で複数のウエハWを所定間隔をおいて保持する。
請求項（抜粋）：
基板搬入・搬出部と、基板に適宜処理を施す基板処理部と、上記基板搬入・搬出部と基板処理部との間で複数の上記基板を受け渡す基板受渡し部と、上記基板受渡し部に配設されて複数の基板を垂直状態に整列保持する基板保持手段と、上記基板処理部と基板受渡し部とで上記基板を搬送する基板搬送手段と、上記基板保持手段と基板搬送手段との間に位置して複数の上記基板を垂直状態に所定の間隔をおいて整列保持する基板間隔保持手段とを具備する基板処理装置において、上記基板間隔保持手段は、それぞれ上記基板を保持する複数の保持溝を列設した一対の側部保持部材と一対の下部保持部材とからなる第1の保持部と第2の保持部とを具備し、上記第1の保持部と第2の保持部とを相対的に昇降可能に形成して、第1の保持部と第2の保持部のいずれか一方の保持部で上記複数の基板を所定間隔をおいて保持するように形成してなる、ことを特徴とする基板搬送処理装置。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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