特許
J-GLOBAL ID:200903038361509741

近接場光学顕微鏡装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-216432
公開番号(公開出願番号):特開2002-031591
出願日: 2000年07月17日
公開日(公表日): 2002年01月31日
要約:
【要約】【課題】 励起エリア外の発光を検出することができる近接場光学顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源からのレーザ光を光源側光ファイバで試料表面に導き、ファイバ先端の近接場光によって試料の微小領域を励起する。励起された試料表面では、電子、キャリア、励起子が発生し、励起エリアで発光するとともに、発生した電子、キャリア、励起子が励起エリア外に流れ出し、励起エリア外でも発光する。前記光源側光ファイバ先端から離間した位置の試料表面に向けて先端が配置される受光側光ファイバで発光を受光することによって、励起エリアとは異なる位置の試料表面の発光を観測することができる。
請求項(抜粋):
光源からの光を試料表面に導く光源側導光手段を有し、光源側導光手段先端の近接場光によって試料の微小領域を照射し、照射された試料からの光を受光して試料を観測する近接場光学顕微鏡装置において、前記光源側導光手段先端から、試料表面に沿う方向に離間した位置の試料表面に向けて先端が配置され、試料からの光を導く受光側導光手段を有し、光源側導光手段で照射された位置とは異なる位置からの光を観測可能な近接場光学顕微鏡装置。
IPC (3件):
G01N 13/14 ,  G01N 21/63 ,  G02B 21/06
FI (3件):
G01N 13/14 A ,  G01N 21/63 Z ,  G02B 21/06
Fターム (23件):
2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043EA10 ,  2G043FA01 ,  2G043FA03 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043GB03 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA05 ,  2G043JA05 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2H052AA00 ,  2H052AB01 ,  2H052AC04 ,  2H052AC26 ,  2H052AC34 ,  2H052AF06 ,  2H052AF07 ,  2H052AF14
引用特許:
審査官引用 (9件)
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引用文献:
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