静電チャック

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲桑▼原史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134121
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246454
出願日： 2001年05月01日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【目的】半導体やFPD(液晶等)の製造プロセスに好適に用いられる静電チャックを提供する。【構成】絶縁基材(1,2)上に導体電極(3)を配置し、導体電極の表面を被膜層(4)で被覆した構成の静電チャックにおいて、被膜層が非晶質炭素を主成分とし、ラマン分析により炭素のラマンスペクトルを4つのピークに分割した場合において1360cm-1のピーク高さを1としたときの1500cm-1のピーク高さ比が0.7〜1.2の範囲であって、108〜1013Ω・cmの範囲の電気抵抗率を有することを特徴としている。被膜層の厚さは2.5μm以上であることが好ましい。この被膜層は、プラズマ化学的気相蒸着法によって成膜し、15〜26atom%の水素を含有するものであることが好ましい。

請求項（抜粋）：

絶縁基材上に導体電極を配置し、導体電極の表面を被膜層で被覆した構成の静電チャックにおいて、被膜層が非晶質炭素を主成分とし、ラマン分光分析により炭素のラマンスペクトルを4つのピークに分割した場合において1360cm-1のピーク高さを1としたときの1500cm-1のピーク高さ比が0.7〜1.2の範囲であって、108〜1013Ω・cmの範囲の電気抵抗率を有することを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C23C 14/50 , C23C 16/458

FI (3件)：

H01L 21/68 R , C23C 14/50 A , C23C 16/458

Fターム (19件)：

4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BD01 , 4K029JA01 , 4K029JA05 , 4K030AA09 , 4K030BA27 , 4K030BB05 , 4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030GA02 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (4件)

静電チヤツク及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-303490 出願人：ソニー株式会社
物品保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-193855 出願人：京セラ株式会社
硬質カーボン膜の形成方法および形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-353160 出願人：シチズン時計株式会社

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