酸素濃度測定用素子及びその製造方法及びそれを具えるセンサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194304
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】測定感度および精度が高く、各種化学溶剤等厳しい測定環境への耐性が高く、かつ長期間安定な測定が行える酸素濃度測定用素子及びその製造方法及びそれを具える酸素センサを提供する。【解決手段】酸素分子の存在によりその蛍光強度が減ずる蛍光物質と、液状の酸素透過性化合物とを混合し、これを多孔質フィルタ中に均一に分散させた後、固定化して基板ガラス上に形成し、その表面に、蛍光検知部から外部に蛍光・励起光が漏れ出すことを防止し、外光を遮断する蛍光反射・外光遮断層とで覆って酸素濃度測定用素子を構成する。この酸素濃度測定用素子を蛍光検知部として用い、紫外線発光ダイオードから放射される励起光を光ファイバを経て蛍光発生層へ照射し、発生される蛍光を光ファイバを経てフォトダイオードで受光するように構成した酸素センサを提供する。

請求項（抜粋）：

励起光及び蛍光が透過する基板と、この基板上に設けられ、励起光の下で、酸素濃度に応じて蛍光強度の減少を示す多環式芳香族または複素環式芳香族の蛍光物質を、多孔質フィルタ内に均一に分散、固定させた蛍光発生層と、この蛍光発生層の上に設けられ、蛍光発生層から放射される蛍光を反射し、外光を遮断し、酸素を透過すると共に蛍光発生層を保護する被覆層と、を具えることを特徴とする酸素測定用素子。

IPC (2件)：

G01N 21/64 , G01N 21/01

FI (2件)：

G01N 21/64 Z , G01N 21/01 B

Fターム (31件)：

2G043AA01 , 2G043BA09 , 2G043CA01 , 2G043EA01 , 2G043FA03 , 2G043GA08 , 2G043GB01 , 2G043GB16 , 2G043GB21 , 2G043HA05 , 2G043JA03 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043LA01 , 2G043MA01 , 2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC07 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059GG02 , 2G059HH03 , 2G059JJ02 , 2G059JJ17 , 2G059JJ21 , 2G059KK01 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059MM14 , 2G059NN02 , 2G059PP04

引用特許：

審査官引用 (10件)

酸素濃度測定用センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-288637 出願人：株式会社オートマチック・システムリサーチ
酸素感応皮膜の形成方法及びそれを利用した酸素センサー並びに圧力測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-207351 出願人：科学技術庁航空宇宙技術研究所長, 科学技術振興事業団
特開平4-305143

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