特許
J-GLOBAL ID：200903038773249507

波長変換方法および波長変換装置

発明者：
政田 元太

政田 元太 について

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白石 浩之

白石 浩之 について

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関根 一郎

関根 一郎 について

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猿倉 信彦

猿倉 信彦 について

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鈴木 祐仁

鈴木 祐仁 について

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小野 晋吾

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出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 清水 千春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-397644
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191963
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】 四ホウ酸リチウム単結晶からなる波長変換素子でレーザービームを波長変換して波長355nm未満の高調波を発生させるとき、レーザービームの変換効率を高め、精密加工に適した紫外レーザーを得る。 【解決手段】 波長変換素子を加熱制御して200〜450°Cの温度範囲内の特定温度(例えば、200°C)に保持する。この温度精度を±0.3°C(好ましくは±0.1°C)とする。これにより、波長変換素子の加熱によって四ホウ酸リチウム単結晶の2光子吸収が減少する。そのため、入射光の強度を増してもレーザービームの透過率が低下しにくくなり、レーザービームの変換効率が向上する。また、2光子吸収に起因する発熱が抑制されるので、屈折率が変化して位相整合性が崩れる不具合を避け、出力のロスや不安定化を防ぎ、ビーム品質を維持できる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
四ホウ酸リチウム単結晶からなる波長変換素子でレーザービームを波長変換して波長355nm未満の高調波を発生させる際に、 前記波長変換素子を加熱制御して200〜450°Cの温度範囲内の特定温度に所定の温度精度で保持することを特徴とする波長変換方法。
IPC (1件)：
G02F1/37
FI (1件)：
G02F1/37
Fターム (10件)：
2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002BA13 ,  2K002CA02 ,  2K002CA22 ,  2K002DA01 ,  2K002EB15 ,  2K002GA05 ,  2K002GA07 ,  2K002HA20
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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