特許

J-GLOBAL ID：200903039214511168

電極内蔵セラミックス

発明者： 高坂 祥二 ,  坂上 勝伺 ,  寺園 正喜
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-192743
公開番号（公開出願番号）：特開2002-016128
出願日： 2000年06月27日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウムを主体とする焼結体の体積固有抵抗が、電極から表面まで均一で、製品内のばらつきが少なく、信頼性の高い電極内蔵セラミックス、吸着装置及び半導体製造装置を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム結晶相を主体とする焼結体の内部に埋設された電極3、4と、少なくとも外部電極から前記電極に給電するための導電体とを具備し、前記焼結体の少なくとも一部の表面と電極との間の焼結体を電子が移動する電極内蔵セラミックスであって、前記電極側焼結体2aの体積固有抵抗をRE、前記主面側焼結体2bの体積固有抵抗をRWとしたとき、体積固有抵抗比RE/RWが100以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム結晶相を主体とする焼結体からなる基板の内部に電極を設けてなり、該基板の一主面と前記電極との間の焼結体において電子が移動可能である電極内蔵セラミックスであって、前記一主面と前記電極との間に位置する前記焼結体の電極側焼結体の体積固有抵抗をRE、主面側焼結体の体積固有抵抗をRWとしたとき、体積固有抵抗比RE/RWが100以下であることを特徴とする電極内蔵セラミックス。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/58 101 ,  B23Q 3/15

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  C04B 35/58 101 A ,  B23Q 3/15 D

Fターム (25件)：

3C016GA10 ,  4G001BA03 ,  4G001BA24 ,  4G001BA36 ,  4G001BA60 ,  4G001BA61 ,  4G001BA71 ,  4G001BA73 ,  4G001BB24 ,  4G001BB36 ,  4G001BB60 ,  4G001BB61 ,  4G001BB71 ,  4G001BB73 ,  4G001BC42 ,  4G001BC43 ,  4G001BC54 ,  4G001BC56 ,  4G001BD36 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 窒化アルミニウム焼結体、金属包含材、静電チャック、窒化アルミニウム焼結体の製造方法および金属包含材の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-293129   出願人：日本碍子株式会社
• 窒化アルミニウム焼結体、金属埋設品、電子機能材料および静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-072799   出願人：日本碍子株式会社
• セラミック抵抗体およびそれを用いた静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-084597   出願人：京セラ株式会社
• 静電チャックの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-070163   出願人：信越化学工業株式会社