特許
J-GLOBAL ID:200903039298537604
ウェル近接効果を緩和する半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-117258
公開番号(公開出願番号):特開2008-177518
出願日: 2007年04月26日
公開日(公表日): 2008年07月31日
要約:
【課題】 ウェル近接効果を緩和する半導体装置を提供する。【解決手段】 半導体装置は、基板内のウェルと、活性領域、及びゲート長が0.13μm以下であるゲートを有するトランジスタを備えている。ゲートの全体がウェル内にあるか、又はウェルの外部にまで延びており、活性領域のエッジとウェルのエッジとの間の最小間隔は、ゲート長の少なくとも3倍である。【選択図】 図5A
請求項(抜粋):
ウェル近接効果を緩和する半導体装置であって、
基板内のウェルと、
活性領域、及びゲート長が0.13μm以下であるゲートを有するトランジスタとを備え、
前記ゲートの全体が前記ウェル内にあり、
前記活性領域のエッジと前記ウェルのエッジとの間の最小間隔は、前記ゲート長の少なくとも3倍である半導体装置。
IPC (6件):
H01L 29/78
, H01L 21/823
, H01L 27/088
, H01L 27/08
, H01L 21/336
, H01L 21/265
FI (5件):
H01L29/78 301R
, H01L27/08 102A
, H01L27/08 331D
, H01L29/78 301Z
, H01L21/265 Z
Fターム (12件):
5F048AA07
, 5F048AC01
, 5F048BA01
, 5F048BE04
, 5F048BF16
, 5F048BG13
, 5F140AA06
, 5F140BA01
, 5F140CB04
, 5F140CB08
, 5F140CB10
, 5F140DB08
引用特許:
引用文献: