特許
J-GLOBAL ID：200903039301339819

静電チャック

発明者：
永山 勉

永山 勉 について


出願人/特許権者：
日新電機株式会社

日新電機株式会社 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293353
公開番号（公開出願番号）：特開平8-154387
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【構成】 静電チャックは、誘電体1cの内部に電極1a・1bが埋設されている静電チャック基盤1と、電極1a・1b間に直流電圧を印加する直流電源3とを有し、静電気力によって吸着対象物4を吸着固定する。誘電体1cの表面にはSiO2 からなる保護膜2が形成されており、保護膜2は静電チャックの吸着面となっている。【効果】 イオンビーム等の不純物が静電チャック基盤1へ侵入することを防ぐことができ、静電チャック基盤1がアモルファス化して誘電率が低下することによる吸着力の低下、あるいは静電チャックの破損を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
誘電体内部に所定の直流電圧が印加される電極が埋設されている静電チャック基盤を備え、静電気力によって上記静電チャック基盤の表面に吸着対象物を吸着させる静電チャックにおいて、上記静電チャック基盤の表面に、誘電体である保護膜が形成されていることを特徴とする静電チャック。
引用特許：
審査官引用 (5件)
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