接着剤フィルムの接着力発現方法および接着力発現装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 廣瀬繁樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-264730
公開番号（公開出願番号）：特開2008-085148
出願日： 2006年09月28日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

【課題】接着剤フィルムが所望の接着力を発現するのに要求される熱を接着剤フィルムに効率的に伝えることのできる接着力発現方法及びこの方法を実施する接着力発現装置を提供する。【解決手段】接着剤フィルム24の接着力発現装置が、表面保護フィルム3が表面に貼付けられているウェーハ20の裏面22を上方に向けた状態でウェーハを保持するウェーハ保持手段25と、ウェーハ保持手段により保持されたウェーハの裏面に接着剤フィルムを貼付ける接着剤フィルム貼付手段と、ウェーハ保持手段に保持されたウェーハの裏面に対向するように配置されていてウェーハの裏面に貼付けられた接着剤フィルムを加熱する加熱手段41とを具備する。加熱手段は、複数の加熱ランプであってよい。また、ウェーハ保持手段が冷却手段26を含んでいてもよい。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

表面保護フィルムが表面に貼付けられているウェーハの裏面を上方に向けた状態でウェーハ保持手段により前記ウェーハを保持し、該ウェーハ保持手段により保持された前記ウェーハの裏面に接着剤フィルムを貼付け、前記ウェーハの前記裏面に貼付けられた前記接着剤フィルムを前記ウェーハ保持手段とは反対側から加熱して前記接着剤フィルムに所望の接着力を発現させる接着剤フィルムの接着力発現方法。

IPC (3件)：

H01L 21/52 , H01L 21/301 , H01L 21/683

FI (3件)：

H01L21/52 H , H01L21/78 M , H01L21/68 N

Fターム (22件)：

5F031CA13 , 5F031DA01 , 5F031DA15 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031HA13 , 5F031HA38 , 5F031HA42 , 5F031HA78 , 5F031MA06 , 5F031MA22 , 5F031MA34 , 5F031MA35 , 5F031MA37 , 5F031PA30 , 5F047BA21 , 5F047BB03 , 5F047BB19 , 5F047FA51 , 5F047FA55

引用特許：

出願人引用 (1件)

極薄ウエハへのフィルム状接着剤の貼り付け方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-349607 出願人：三井化学株式会社

審査官引用 (6件)

熱接着フィルム貼付方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-352447 出願人：日東電工株式会社
保護シートおよび半導体ウエハの加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-043265 出願人：リンテック株式会社
感熱粘着材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-368665 出願人：株式会社リコー

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