表面波装置、横波トランスデューサー及び縦波トランスデューサー並びにこれらの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134109
公開番号（公開出願番号）：特開2002-026687
出願日： 2001年05月01日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】挿入損失が小さく、電気機械結合係数kが大きく、変換効率に優れた表面波装置を得る。【解決手段】基板2上に、比抵抗ρが1Ω・cm以下であり、ZnOに不純物がドープされている低抵抗のZnO膜13からなる電極が形成されており、該電極上に比抵抗ρが106Ω・cm以上であり、格子定数がZnOの格子定数の±20%以内である圧電膜14が形成されており、該圧電膜14上にインターデジタル電極15が形成されている表面波装置1。

請求項（抜粋）：

基板と、基板上に形成されており、比抵抗ρが1Ω・cm以下であり、ZnOに不純物がドープされている低抵抗のZnO層からなる電極と、前記ZnO層からなる電極上にエピタキシャル膜として形成されており、比抵抗ρが106Ω・cm以上であり、格子定数がZnOの格子定数の±20%以内である圧電膜と、前記圧電膜上に形成されたインターデジタル電極とを備えることを特徴とする表面波装置。

IPC (3件)：

H03H 9/145 , H03H 3/08 , H03H 9/25

FI (3件)：

H03H 9/145 C , H03H 3/08 , H03H 9/25 C

Fターム (16件)：

5J097AA06 , 5J097AA29 , 5J097AA31 , 5J097DD01 , 5J097EE08 , 5J097EE10 , 5J097FF02 , 5J097FF08 , 5J097GG02 , 5J097GG03 , 5J097GG04 , 5J097HA02 , 5J097HA03 , 5J097KK01 , 5J097KK05 , 5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (10件)

表面弾性波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-013006 出願人：住友電気工業株式会社
弾性表面波装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283228 出願人：株式会社村田製作所
弾性表面波機能素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-194605 出願人：旭化成工業株式会社, 山之内和彦

全件表示

前のページに戻る