特許
J-GLOBAL ID：200903039585609179
面発光型半導体レーザアレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-225383
公開番号（公開出願番号）：特開平11-068230
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの素子本体以外の抵抗が低減されたマトリックス駆動型面発光レーザアレイを提供する。【解決手段】活性層を挟んで上下のスペーサ層が形成され、スペーサ層を挟んで上下の多層反射膜が形成されてなる面発光型半導体レーザ本体がこの本体の平面積より大きな平面積を有し導電性である下側コンタクト層上に形成されている面発光型半導体レーザユニットの複数が、絶縁膜をもって相互に絶縁されて、絶縁性基板上にマトリックス状に配列され、マトリックスの一方向に並置される前記のユニットの複数の上にマトリックスの一方向に連続する金属の帯よりなる上側電極の複数が形成され、マトリックスの他方向に並置されるユニットの下側コンタクト層の上面に、マトリックスの他方向に連続して、金属の帯よりなる下側電極の複数が形成されている面発光型半導体レーザアレイである。
請求項（抜粋）：
活性層を挟んで上下のスペーサ層が形成され、該スペーサ層を挟んで上下の多層反射膜が形成されてなる面発光型半導体レーザ本体が該本体の平面積より大きな平面積を有し導電性の下側コンタクト層上に形成されてなる面発光型半導体レーザユニットの複数が、絶縁膜をもって相互に絶縁されて、絶縁性基板上にマトリックス状に配列され、前記マトリックスの一方向に並置される前記ユニットの複数の上に前記マトリックスの一方向に連続する金属の帯よりなる上側電極の複数が形成され、前記マトリックスの他方向に並置される前記ユニットの下側コンタクト層の上面に、前記マトリックスの他方向に連続して、金属の帯よりなる下側電極の複数が形成されてなることを特徴とする面発光型半導体レーザアレイ。
引用特許：
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