特許
J-GLOBAL ID：200903039613976794

データ収集管理方法およびそのシステム

発明者：
酒井 克彦

酒井 克彦 について

, 
諸熊 秀俊

諸熊 秀俊 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-348953
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116769
出願日： 2003年10月08日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】 収集管理方法およびそのシステムにおいて、収集したデータに含まれるそれぞれの検査装置固有の計測誤差によるデータのばらつきを抑制して製造条件に反映させるとともに、複数の計測装置ごとに較正作業を実施するという手間を省き、使い勝手に優れた方法およびシステムを提供する。【解決手段】 製造装置により試料を加工した結果を複数の検査装置で計測し、該複数の検査装置で計測した計測データを標準寸法試料を用いて求めた較正値で補正した補正データを、それぞれの検査装置と対応付けて保存し、製造装置による試料の加工の設定条件を変更するために保存された補正データを表示する。また、補正データに基づいて製造装置による試料の加工の設定条件を変更するものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
製造装置により試料を加工した結果を複数の検査装置で計測し、該複数の検査装置で計測した計測データを標準寸法試料を用いて求めた較正値で補正した補正データを、それぞれの検査装置と対応付けて保存し、前記製造装置による試料の加工の設定条件を変更するために前記保存された補正データを表示することを特徴とするデータ収集管理方法。
IPC (2件)：
H01L21/02 ,  H01L21/66
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/66 Z
Fターム (10件)：
4M106AA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106DB18 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ38
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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