特許
J-GLOBAL ID：200903039722382977

検出光学装置及び欠陥検査装置

発明者：
河上 浩幸

河上 浩幸 について

, 
松井 繁

松井 繁 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-164153
公開番号（公開出願番号）：特開2005-345221
出願日： 2004年06月02日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：
【課題】後方散乱の検出能を上げる検出光学系と、それを使用した欠陥検出装置を提供する。【解決手段】検出光学系は、試料41に入射角を持った細いビーム照射光をスキャンしながら照射し、試料からの反射光(含む回折光、散乱光)を同一の対物レンズ10で捕捉する。反射光はミラー11で曲げられ、開口絞り30に入射する。開口絞り30の通過光領域31は、開口絞り30の中心より偏芯した位置に配置され、反射光の入射方向に対応して、モータ36により回転される。通過光領域31の位置は反射光の入射方向に対し相対的に保持される。これにより、試料上の散乱光に対し前方散乱と後方散乱とを異なる効率で捕捉することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対物レンズを用いて試料に細いビームの照明光をスキャンしながら照射し、試料からの反射光・散乱光を同一の対物レンズで補足して試料像を結像させる検出光学装置において、 試料面上の法線に対して、任意の入射方向をもった前記照明光を試料に入射させる入射系と、試料からの反射光(含む、回折光、散乱光)を画素センサーに導く検出系を有し、前記検出系に反射光の通過光領域を前記入射方向に対し相対的に保持する偏心手段を設けたことを特徴とする検出光学装置。
IPC (1件)：
G01N21/956
FI (1件)：
G01N21/956 A
Fターム (18件)：
2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BB20 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051CD03 ,  2G051DA05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
  • 斜光照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-087123   出願人：ベイテック株式会社
  • 走査型レーザー顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-011933   出願人：日本電子株式会社, 日本電子ライオソニック株式会社
  • 光学像観察システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-364792   出願人：株式会社東芝, 日本電子株式会社, 日本電子ライオソニック株式会社
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