特許
J-GLOBAL ID：200903039790067265
3軸加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-128278
公開番号（公開出願番号）：特開平11-304833
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 ダイアフラムに対して垂直方向の加速度も高感度に検出する。【解決手段】 重錘16を同心的に収容し、円形状の貫通した孔19を有した台座18の上面に、ダイアフラム14が設けられている。重錘16の取付面と対向する円形の重錘取付部20と、台座18の取付面と対向する外部領域24と、重錘取付部20と外部領域24の間の中間領域22とに分けると、各検出用電極は、重錘取付部20と中間領域22との境界部26上に端縁部が位置するとともに、大部分は中間領域22に位置する。またZ軸方向加速度検出用電極Z18,Z20は、中間領域22と外部領域24との境界部28上で、この両領域22,24に跨り、かつこの境界部28に沿って細長く形成されている。
請求項（抜粋）：
圧電セラミックスの基板表面と同一平面上で互いに直交する方向をX軸方向及びY軸方向とし、基板表面と垂直な方向をZ軸方向とし、上記基板の表面に、X軸方向加速度を検出するX軸方向加速度検出用電極、Y軸方向加速度を検出するY軸方向加速度検出用電極、Z軸方向加速度を検出するZ軸方向加速度検出用電極が設けられ、X軸方向加速度の検出信号を出力するX軸方向加速度出力電極、Y軸方向加速度の検出信号を出力するY軸方向加速度出力電極、Z軸方向加速度の検出信号を出力するZ軸方向加速度出力電極が上記基板表面に各々形成され、上記X軸方向加速度検出用電極とX軸方向加速度出力電極を接続する第1配線パターン、上記Y軸方向加速度検出用電極とY軸方向加速度出力電極を接続する第2配線パターン、上記Z軸方向加速度検出用電極とZ軸方向加速度出力電極を接続する第3配線パターンが上記基板表面に各々形成され、上記基板の裏面に上記各検出用電極に対向する対向電極が設けられ、この対向電極と各検出用電極との間の上記基板が分極処理されており、上記基板の裏面にダイアフラムが接着剤を介して固定され、このダイアフラムの上記基板とは反対側の面に重錘が固定され、この重錘を同心的に収容した円形状の孔を有して、上記ダイアフラムを支持する台座が設けられ、上記基板の表面を、上記重錘の取付面と対向する円形の重錘取付部と、上記台座の取付面と対向する外部領域と、上記重錘取付部と外部領域の間の中間領域とに分けると、上記各検出用電極は、上記重錘取付部と中間領域との境界部上で、この両領域に跨って形成されるとともに、各々互いに所定の間隔を有して環状に形成され、上記Z軸方向加速度検出用電極の少なくとも一部は、上記中間領域と外部領域との境界部上で、この両領域に跨り、かつこの境界部に沿って細長く形成されたことを特徴とする3軸加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/09
, G01L 5/16
, H01L 41/08
G01P 15/09
, G01L 5/16
, H01L 41/08 Z
