特許
J-GLOBAL ID：200903040027213984

ガラスセラミック基板の製造方法

発明者：
三倉 勉

三倉 勉 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392266
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192456
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 キャビティ等の凹部の底面に配置された貫通導体についても凸のない、寸法精度が高いガラスセラミック基板を得る方法を提供することである。【解決手段】 (i)凹部4の底面にコート層無機組成物2が塗布された貫通導体5を配置したガラスセラミック・グリーンシート積層体1を作製し、(ii)積層体1の両面に拘束グリーンシート3を積層し、(iii)焼成して拘束シートを保持し凹部の底面にコート層で被覆された貫通導体5が形成されたガラスセラミック基板を作製し、(iv)拘束シートおよびコート層無機物を除去する工程からなり、(v)拘束シートのガラス含有量が、焼成時にガラスセラミック・グリーンシートと結合しかつ積層面内で実質的に収縮させない量であり、(vi)コート層無機組成物2のガラス含有量が、焼成時に貫通導体5の露出端面と結合させ、かつ焼成後にコート層が拘束シートと共に除去される量である。
請求項（抜粋）：
有機バインダを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシート、および凹部を形成するための貫通穴が形成された前記ガラスセラミック・グリーンシート、ならびに貫通導体を形成するための貫通孔に導体ペーストを充填するとともに前記貫通孔上に難焼結性無機材料とガラスと有機バインダを含むコート層無機組成物を塗布した前記ガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層して、凹部を有するとともに該凹部の底面に前記コート層無機組成物が塗布された前記貫通孔を配置したガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に難焼結性無機材料とガラスと有機バインダとを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、次いで焼成して拘束シートを保持するとともに凹部の底面にコート層で被覆された貫通導体が形成されたガラスセラミック基板を作製する工程と、前記ガラスセラミック基板から前記拘束シートおよび前記コート層を除去する工程とを含み、前記拘束グリーンシートのガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させ、かつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であり、前記コート層無機組成物のガラス含有量が、前記焼成時にコート層無機組成物を前記貫通孔に充填された前記導体ペーストの露出端面と結合させ、かつ焼成後に前記コート層が前記拘束シートと共に前記ガラスセラミック基板から除去される量であることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
IPC (3件)：
C04B 35/64 ,  H01L 23/12 ,  H05K 3/46
FI (3件)：
H05K 3/46 H ,  C04B 35/64 G ,  H01L 23/12 D
Fターム (25件)：
5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA24 ,  5E346AA38 ,  5E346AA43 ,  5E346AA60 ,  5E346BB01 ,  5E346CC18 ,  5E346CC32 ,  5E346CC38 ,  5E346CC39 ,  5E346CC60 ,  5E346DD02 ,  5E346DD34 ,  5E346EE24 ,  5E346EE25 ,  5E346EE27 ,  5E346EE29 ,  5E346FF18 ,  5E346GG03 ,  5E346GG07 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346GG10 ,  5E346HH11
引用特許：
審査官引用 (7件)
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