特許
J-GLOBAL ID：200903040169364300
研削部材のドレス方法および研削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-189831
公開番号（公開出願番号）：特開2009-023057
出願日： 2007年07月20日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：
【課題】研削装置の研削部材をドレスするドレス方法において、作業者による作業ミスの発生を抑え、かつ効率的にドレスすることができるドレス方法と、そのドレス方法を好適に実施する研削装置を提供する。【解決手段】搬送ロボットにより供給カセットから位置決めテーブル上に載置されたドレス板100を供給手段73の吸着パッド74で吸着保持し、チャックテーブルの保持面に載置する。ターンテーブルを回転させてチャックテーブルに保持したドレス板100をドレスするスピンドルの下方に移動させ、砥石ホイールでドレス板100を研削する。このとき、厚さ測定ゲージでドレス板100の厚さを測定しながら研削する。研削が終了したら、ドレス板100を着脱位置に戻し、回収手段78によりチャックテーブル上からドレス板100を除去する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
搬送手段によって被加工物を搬送する全自動搬送機能を有し、保持手段に保持した被加工物の一の面を研削部材によって研削する研削装置の、前記保持手段にドレス板を保持し、該ドレス板を研削することで前記研削部材をドレスするドレス方法であって、
前記研削部材によって研削されるドレッサ部と、前記搬送手段によって保持され得る被保持領域とを有するドレス板を、搬送手段が被保持領域を保持して前記保持手段に載置するドレス板載置工程と、
前記研削部材によって前記ドレス板の前記ドレッサ部を研削してドレスするドレス工程と、
前記ドレス板を、前記搬送手段が前記被保持領域を保持して前記保持手段から取り去るドレス板除去工程とを備えることを特徴とするドレス方法。
IPC (3件)：
B24B 53/02
, B24B 49/04
, B24B 53/00
B24B53/02
, B24B49/04 Z
, B24B53/00 A
3C034AA08
, 3C034BB91
, 3C034CB12
, 3C034CB14
, 3C047AA01
, 3C047BB01
, 3C047BB16
, 3C047BB19
出願人引用 (1件)
-
表面研削方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-182977
出願人：株式会社東京精密
審査官引用 (3件)
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研削装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-197622
出願人：セイコーインスツル株式会社
-
自動バフ研磨装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-139242
出願人：ソニー株式会社
-
研磨装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-104988
出願人：株式会社ディスコ
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