特許
J-GLOBAL ID：200903040346205374
シ-ルド昇降装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056950
公開番号（公開出願番号）：特開2000-143391
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：
【要約】【課題】 輻射シールドの水平支持の補正や支持ベースへの載置を自動化できる輻射シールド昇降装置を提供する。【解決手段】 複数本のワイヤ2で輻射シールド9を支持し、各ワイヤ2を巻いたワイヤドラム22を回転させて輻射シールド9を昇降させる構成のシールド昇降装置において、各ワイヤドラム22を個別に駆動するワイヤ駆動モータ14を設け、ワイヤ駆動モータ14を制御するための制御部20を設け、各ワイヤ駆動モータ14を各々独自に制御する。
請求項（抜粋）：
チャンバー(3)内にルツボ(7)と輻射シールド(9)を設ける単結晶引上装置において、複数本のワイヤ(2)で輻射シールド(9)を支持し、それぞれ複数本のワイヤドラム(22)にワイヤ(2)を巻いて、それぞれのワイヤドラム(22)を個別に駆動する複数のワイヤ駆動モータ(14)を設けたことを特徴とするシールド昇降装置。
IPC (2件)：
C30B 15/32
, C30B 29/06 502
C30B 15/32
, C30B 29/06 502 C
4G077AA02
, 4G077CF10
, 4G077EG29
, 4G077EH10
