特許
J-GLOBAL ID：200903040351407740
周期性開口パタ-ンの検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005942
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205836
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 面光源から試料の裏面を照明した際の透過光に基づいて、該試料に貫通形成されている周期性開口のパターンを検査する際、検査精度を向上する。【解決手段】 試料の裏面を照射した際の透過光を撮像して得られる透過光画像から周期性開口のパターンを検査する際、正常な試料の基準透過光画像を撮像し、反射光に起因して基準透過光画像に形成されている反射光領域を特定し、その画像データに基づいて反射光画像Bを予め作成し、検査時に撮像した対象透過光画像Dから反射光画像Bを減算して補正透過光画像Eを作成し、該画像Eから作成した透過率画像Fを基に検査する。
請求項（抜粋）：
光源と該光源からの照射光を拡散する拡散板とを有する面光源により試料の裏面を照射した際の透過光を、その表面側に配置された撮像手段により撮像して得られる透過光画像に基づいて、該試料に貫通形成されている周期性開口のパターンを検査する周期性開口パターンの検査方法において、基準となる正常な試料について基準透過光画像を撮像し、前記面光源からの照射光が試料の裏面で反射された後、前記拡散板で再反射された反射光に起因して、前記基準透過光画像に形成されている反射光領域を特定し、該反射光領域の画像データに基づいて反射光画像を予め作成しておくと共に、検査時には、対象の試料を撮像して得られる対象透過光画像から前記反射光画像を減算して補正透過光画像を作成し、該補正透過光画像を用いて前記周期性開口のパターンを検査することを特徴とする周期性開口パターンの検査方法。
FI (2件)：
G01B 11/24 F
, G01B 11/24 K
2F065AA54
, 2F065AA58
, 2F065BB02
, 2F065CC25
, 2F065DD04
, 2F065DD11
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065GG15
, 2F065GG18
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065HH15
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ19
, 2F065LL49
, 2F065MM16
, 2F065MM26
, 2F065QQ31
, 2F065RR01
, 2F065SS04
, 2F065TT02
, 2F065UU05
, 2F065UU06
