特許
J-GLOBAL ID：200903040388607880
研磨用スラリー再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-104806
公開番号（公開出願番号）：特開2001-287163
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：
【要約】【課題】 研磨用スラリー再生装置において、安価にしかも効果的に不要成分を除去する。【解決手段】 研磨に用いられたスラリーを回収スラリーとして回収して、この回収スラリーを再生スラリーに再生する際、サイクロンセパレーター41ではスラリーを予め定められた粒度に分粒して、この予め定められた粒度のスラリーを回収スラリーとする。そして、回収スラリーを再生スラリーに再生する際には、超音波発生器43から回収スラリーに超音波が照射される。
請求項（抜粋）：
研磨に用いられたスラリーを回収スラリーとして回収して該回収スラリーを再生スラリーに再生して該再生スラリーを前記研磨に用いるようにした研磨用スラリー再生装置であって、前記スラリーを予め定められた粒度に分粒して該予め定められた粒度のスラリーを前記回収スラリーとするサイクロンセパレーターと、前記回収スラリーを前記再生スラリーに再生する再生手段とを有することを特徴とする研磨用スラリー再生装置。
IPC (3件)：
B24B 57/02
, B24B 37/00
, H01L 21/304 622
B24B 57/02
, B24B 37/00 K
, H01L 21/304 622 E
3C047FF08
, 3C047GG14
, 3C047GG17
, 3C058AA07
, 3C058AC01
, 3C058BC02
, 3C058CB03
, 3C058CB05
, 3C058DA12
, 3C058DA17
