特許
J-GLOBAL ID：200903040456595836

圧力検出装置用パッケージ

発明者：
木野村 浩司

木野村 浩司 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-225791
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039896
出願日： 2000年07月26日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 小型で高感度であり、外部の圧力をばらつきなく正確に検出可能な圧力検出装置を提供すること。【解決手段】 一方の主面に半導体素子3が搭載される絶縁基体1の他方の主面に静電容量形成用の電極7およびこれを囲繞する枠体1cを設け、この枠体1c上に、中央部が電極7に対向するとともに外周部が枠体1c上にろう付けされた静電容量形成用の金属板2を取着して成る圧力検出装置用パッケージであって、金属板2の内側面のろう付けされた外周部と電極7に対向する中央部との間にろう材流出防止用の溝2aが形成されている。
請求項（抜粋）：
一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有するとともに他方の主面の中央部に静電容量形成用の電極が被着された絶縁基体と、該絶縁基体の前記他方の主面外周部に前記電極を囲繞するようにして接合された枠体と、中央部が前記電極に対向するとともに外周部が前記枠体上にろう付けされ、前記絶縁基体との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で取着された静電容量形成用の金属板とから成る圧力検出装置用パッケージであって、前記金属板は、その内側面の前記ろう付けされた外周部と前記電極に対向する中央部との間にろう材流出防止用の溝が形成されていることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01L 9/12 ,  H01L 29/84 Z
Fターム (18件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC01 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055FF15 ,  2F055FF43 ,  2F055GG25 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA02 ,  4M112CA11 ,  4M112CA13 ,  4M112CA16 ,  4M112DA18 ,  4M112EA12 ,  4M112GA01
引用特許：
審査官引用 (10件)
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