試料微動機構及び試料ホルダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-133429
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318505
出願日： 1996年05月28日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】試料ホルダに於ける試料微動機構の提供。【解決手段】試料ホルダ内の隣接する2辺の側壁にバネ2に取り付けた試料押え3を設ける。固定試料押え3を設けていない2辺について、可動試料押え4と試料位置調整棒5を一体化させたものを試料位置調整棒押え7により固定した機構として設ける。試料位置調整棒5及び同棒押え7にはネジ山を切っておき、同調整棒5の先端部に設けた調整ネジ6を回転させることで可動試料押え4がスライド移動する機構とする。

請求項（抜粋）：

試料押えと、一端が固定され、他端が上記試料押えに接続された弾性体とから成る第1の試料押え手段と、試料位置調整手段と、該試料位置調整手段に接続される可動試料押えとから成る第2の試料押え手段と、測定用窓とを有することを特徴とする試料微動機構。

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭62-083637
X-Yステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-215967 出願人：株式会社島津製作所
XY駆動試料台
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-082463 出願人：セイコー電子工業株式会社

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審査官引用 (3件)

特開昭62-083637
X-Yステージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-215967 出願人：株式会社島津製作所
XY駆動試料台
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-082463 出願人：セイコー電子工業株式会社

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