特許
J-GLOBAL ID：200903040541774227

フラットパネル搬送システム

発明者：
林 武秀

林 武秀 について


出願人/特許権者：
林 武秀

林 武秀 について

, 
第一施設工業株式会社

第一施設工業株式会社 について

, 
永田 徹三

永田 徹三 について


代理人 (1件)： 島田 義勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-115669
公開番号（公開出願番号）：特開2002-308422
出願日： 2001年04月13日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ガラス基板等のフラットパネルが大型化しても、搬送ラインや処理装置のフットプリントが拡大することなく、クリーンエリアの極小化も可能で、また、フラットパネルの撓み、汚れを防ぐことができる搬送システムを提供すること。【解決手段】 前記搬送装置2は、基台20に取付けられた搬送台30にモータ31、このモータ31により駆動される原動ローラ32及び従動ローラ33、支持ローラ34及び浮上ユニット35を取付けてなる。前記浮上ユニット35は、前記ガラス基板1を非接触で支持するもので、圧力ケースに気体を送り込み、その気体が搬送面36に臨む多孔質体を通過することにより、この多孔質体と縦姿のガラス基板1間に気体膜を形成させ、この気体膜でガラス基板1を支持し浮上させるようになっている。
請求項（抜粋）：
処理装置等を配置した生産ラインに設けられ、且つ、フラットパネルを搬送する搬送ラインを備えたフラットパネル搬送システムにおいて、前記搬送ラインは、搬送面に多孔質体を臨ませ、その多孔質体と縦姿のフラットパネル間に気体膜を形成させることによりフラットパネルを非接触で支持しつつ、搬送する搬送台を備えた搬送装置により構成されることを特徴とするフラットパネル搬送システム。
IPC (5件)：
B65G 49/06 ,  B65G 51/03 ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/68 ,  G02F 1/1333 500
FI (5件)：
B65G 49/06 Z ,  B65G 51/03 C ,  G09F 9/00 338 ,  H01L 21/68 A ,  G02F 1/1333 500
Fターム (26件)：
2H090JB02 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA17 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031FA18 ,  5F031GA32 ,  5F031GA51 ,  5F031GA53 ,  5F031GA58 ,  5F031LA07 ,  5F031NA02 ,  5F031PA03 ,  5F031PA05 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA26 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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