特許
J-GLOBAL ID:200903040781006960
ペロブスカイト型酸化物、強誘電体膜、強誘電体素子、及び液体吐出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-288529
公開番号(公開出願番号):特開2009-117592
出願日: 2007年11月06日
公開日(公表日): 2009年05月28日
要約:
【課題】PZT系のペロブスカイト型酸化物において、Aサイトに1モル%超の置換イオン及びBサイトに10モル%以上の置換イオンを添加され、且つAサイト欠陥が少ないものとする。【解決手段】本発明のペロブスカイト型酸化物は、下記式(P)で表されることを特徴とするものである。(Pb1-x+δAx)(ZryTi1-y)1-zMzOw・・・(P)(式中、Pb及びAはAサイト元素であり、AはPb以外の少なくとも1種の元素である。Zr,Ti及びMはBサイト元素であり、MはNb,Ta,V,Sb,Mo及びWからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。0.01<x≦0.4、0<y≦0.7、0.1≦z≦0.4。δ=0及びw=3が標準であるが、これらの値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準値からずれてもよい。)【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記式(P)で表されることを特徴とするペロブスカイト型酸化物。
(Pb1-x+δAx)(ZryTi1-y)1-zMzOw・・・(P)
(式中、Pb及びAはAサイト元素であり、AはPb以外の少なくとも1種の元素である。Zr,Ti及びMはBサイト元素であり、MはNb,Ta,V,Sb,Mo及びWからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素である。
0.01<x≦0.4。
0<y≦0.7。
0.1≦z≦0.4。
δ=0及びw=3が標準であるが、これらの値はペロブスカイト構造を取り得る範囲内で基準値からずれてもよい。)
IPC (10件):
H01L 41/187
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/24
, H01L 21/316
, B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, C01G 25/02
, C01G 33/00
FI (9件):
H01L41/18 101D
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
, H01L21/316 Y
, B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
, C01G25/02
, C01G33/00 A
Fターム (14件):
2C057AF93
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 4G048AA03
, 4G048AA05
, 4G048AB01
, 4G048AC02
, 4G048AD02
, 4G048AD08
, 5F058BC03
, 5F058BF14
, 5F058BJ04
引用特許: