特許
J-GLOBAL ID:200903040860579950
表示素子用アレイ基板及びその作製方法、これを用いた表示素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木森 有平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-270140
公開番号(公開出願番号):特開2007-079431
出願日: 2005年09月16日
公開日(公表日): 2007年03月29日
要約:
【課題】 大面積を低コストで形成することが要求される表示部と、高移動度が求められる駆動回路部の双方について、各々の要求を満たすことが可能な表示素子用アレイ基板を提供する。【解決手段】 透明絶縁基板(ガラス基板1)上に表示部と駆動回路部を有する表示素子用アレイ基板である。表示部の薄膜トランジスタは、非単結晶シリコン層(多結晶シリコン層3)を活性層とする非単結晶薄膜トランジスタTrAであり、駆動回路部の薄膜トランジスタは、ガラス基板1に貼り付けられた単結晶シリコン層4を活性層とする単結晶薄膜トランジスタTrBである。表示部の薄膜トランジスタTrAと駆動回路部の薄膜トランジスタTrBは、同一プロセスにより形成されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
透明絶縁基板上に表示部と駆動回路部を有する表示素子用アレイ基板であって、
前記表示部の薄膜トランジスタは、非単結晶シリコン層を活性層とする非単結晶薄膜トランジスタであり、
前記駆動回路部の薄膜トランジスタは、前記透明絶縁基板に貼り付けられた単結晶シリコン層を活性層とする単結晶薄膜トランジスタであることを特徴とする表示素子用アレイ基板。
IPC (7件):
G02F 1/134
, G09F 9/30
, G02F 1/136
, H01L 29/786
, H01L 21/336
, H01L 21/02
, H01L 27/12
FI (6件):
G02F1/1345
, G09F9/30 338
, G02F1/1368
, H01L29/78 612B
, H01L29/78 627D
, H01L27/12 B
Fターム (50件):
2H092GA50
, 2H092GA59
, 2H092JA25
, 2H092JA33
, 2H092JB57
, 2H092JB61
, 2H092KA03
, 2H092KA04
, 2H092KA05
, 2H092KB22
, 2H092KB24
, 2H092MA08
, 2H092MA17
, 2H092MA23
, 2H092MA24
, 2H092MA27
, 2H092MA30
, 2H092MA31
, 2H092MA37
, 2H092NA21
, 2H092NA27
, 2H092PA01
, 5C094AA21
, 5C094AA43
, 5C094AA44
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094DA13
, 5C094FB14
, 5F110AA04
, 5F110AA16
, 5F110BB02
, 5F110CC02
, 5F110DD02
, 5F110DD12
, 5F110DD13
, 5F110DD14
, 5F110DD17
, 5F110GG02
, 5F110GG12
, 5F110GG13
, 5F110GG25
, 5F110GG44
, 5F110GG45
, 5F110NN78
, 5F110PP01
, 5F110PP03
, 5F110PP29
, 5F110QQ17
, 5F110QQ19
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
液晶表示装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-226969
出願人:株式会社日立製作所
審査官引用 (4件)