特許
J-GLOBAL ID:200903040879723156
レーザ装置、増幅器、及び紫外線レーザ装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-132472
公開番号(公開出願番号):特開2002-329911
出願日: 2001年04月27日
公開日(公表日): 2002年11月15日
要約:
【要約】【課題】 スペクトル線幅が非常に狭い、真空紫外領域の波長を有するレーザ光を発振する紫外線レーザ装置を提供する。【解決手段】 チタン・サファイア結晶(7)を励起して得られるレーザ光(L32A)の波長を、共振器内に設置した斜入射型のグレーティング(3)によって狭帯域化するレーザ装置において、チタン・サファイア結晶(7)の前後両側に凹面鏡(8,9)を配置し、共振器内にグレーティング(3)に加えて波長選択素子(5)を設置している。
請求項(抜粋):
チタン・サファイア結晶(7)を励起して得られるレーザ光(L32A)の波長を、共振器内に設置した斜入射型のグレーティング(3)によって狭帯域化するレーザ装置において、チタン・サファイア結晶(7)の前後両側に凹面鏡(8,9)を配置し、共振器内にグレーティング(3)に加えて波長選択素子(5)を設置したことを特徴とするレーザ装置。
IPC (4件):
H01S 3/137
, G02F 1/35
, H01S 3/106
, H01S 3/223
FI (4件):
H01S 3/137
, G02F 1/35
, H01S 3/106
, H01S 3/223 Z
Fターム (19件):
2K002AB12
, 2K002BA01
, 2K002CA30
, 2K002HA33
, 5F071AA04
, 5F071BB01
, 5F071DD05
, 5F071DD06
, 5F071HH09
, 5F072AB20
, 5F072JJ13
, 5F072JJ20
, 5F072KK01
, 5F072KK05
, 5F072KK06
, 5F072KK07
, 5F072KK18
, 5F072PP10
, 5F072RR05
引用特許:
審査官引用 (13件)
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光源装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-315087
出願人:株式会社ニコン
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特開平1-245584
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特開昭64-084767
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引用文献:
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