特許
J-GLOBAL ID:200903040879723156

レーザ装置、増幅器、及び紫外線レーザ装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-132472
公開番号(公開出願番号):特開2002-329911
出願日: 2001年04月27日
公開日(公表日): 2002年11月15日
要約:
【要約】【課題】 スペクトル線幅が非常に狭い、真空紫外領域の波長を有するレーザ光を発振する紫外線レーザ装置を提供する。【解決手段】 チタン・サファイア結晶(7)を励起して得られるレーザ光(L32A)の波長を、共振器内に設置した斜入射型のグレーティング(3)によって狭帯域化するレーザ装置において、チタン・サファイア結晶(7)の前後両側に凹面鏡(8,9)を配置し、共振器内にグレーティング(3)に加えて波長選択素子(5)を設置している。
請求項(抜粋):
チタン・サファイア結晶(7)を励起して得られるレーザ光(L32A)の波長を、共振器内に設置した斜入射型のグレーティング(3)によって狭帯域化するレーザ装置において、チタン・サファイア結晶(7)の前後両側に凹面鏡(8,9)を配置し、共振器内にグレーティング(3)に加えて波長選択素子(5)を設置したことを特徴とするレーザ装置。
IPC (4件):
H01S 3/137 ,  G02F 1/35 ,  H01S 3/106 ,  H01S 3/223
FI (4件):
H01S 3/137 ,  G02F 1/35 ,  H01S 3/106 ,  H01S 3/223 Z
Fターム (19件):
2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA30 ,  2K002HA33 ,  5F071AA04 ,  5F071BB01 ,  5F071DD05 ,  5F071DD06 ,  5F071HH09 ,  5F072AB20 ,  5F072JJ13 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK01 ,  5F072KK05 ,  5F072KK06 ,  5F072KK07 ,  5F072KK18 ,  5F072PP10 ,  5F072RR05
引用特許:
審査官引用 (13件)
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引用文献:
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