特許
J-GLOBAL ID：200903040953234588

実装装置および実装方法

発明者：
山内 朗

山内 朗 について

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新井 義之

新井 義之 について

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寺田 勝美

寺田 勝美 について

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晴 孝志

晴 孝志 について


出願人/特許権者：
東レエンジニアリング株式会社

東レエンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-178333
公開番号（公開出願番号）：特開2004-022949
出願日： 2002年06月19日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】両被接合物間に挿入される光学系を薄く構成でき、それによって両被接合物が接合される際の位置ずれを抑えることのできる、実装精度、タクト上極めて有利な実装装置および実装方法を提供する。【解決手段】対向する被接合物間に両被接合物方向に光軸を有する2視野光学系を挿入する実装装置において、2視野光学系内に、2個の90度プリズムが、背面合わせにされた固定の相対位置関係にて、対向する被接合物間に進退される光学系ベース板に固定されており、2個の90度プリズムにより両被接合物側からの各光軸が90度方向変換された後の各光軸が通る光路に、各被接合物側からの位置合わせ用マーク情報を認識するマーク認識手段が設けられている実装装置、および実装方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対向する被接合物間に両被接合物方向に光軸を有する2視野光学系を挿入して両被接合物側の位置合わせ用マークを読み取り、読み取り情報に基づいて両被接合物の相対位置を所定の精度範囲内に入るように補正するとともに、2視野光学系を退避させて被接合物同士を接合する実装装置において、前記2視野光学系内に、2個の90度プリズムが、背面合わせにされた固定の相対位置関係にて、対向する被接合物間に進退される光学系ベース板に固定されており、前記2個の90度プリズムにより前記両被接合物側からの各光軸が90度方向変換された後の各光軸が通る光路に、各被接合物側からの位置合わせ用マーク情報を認識するマーク認識手段が設けられていることを特徴とする実装装置。
IPC (3件)：
H05K13/04 ,  G01B11/00 ,  H01L21/60
FI (3件)：
H05K13/04 M ,  G01B11/00 H ,  H01L21/60 311T
Fターム (32件)：
2F065AA20 ,  2F065BB27 ,  2F065DD06 ,  2F065EE01 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF69 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL47 ,  2F065PP12 ,  5E313AA03 ,  5E313AA11 ,  5E313CC03 ,  5E313CC04 ,  5E313DD02 ,  5E313DD03 ,  5E313DD13 ,  5E313EE02 ,  5E313EE03 ,  5E313EE24 ,  5E313EE37 ,  5E313FF24 ,  5E313FF26 ,  5E313FF28 ,  5E313FF29 ,  5E313FF32 ,  5E313FF40 ,  5E313FG02 ,  5F044PP17
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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