特許
J-GLOBAL ID：200903041106773584
非破壊検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-345271
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149208
出願日： 2001年11月09日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】 高感度磁気センサを使用して欠陥を検査する非破壊検査において、3次元画像を得るまでの時間を短縮する。【解決手段】 鋸波発生装置6が、低周波数から高周波数までの異なる多くの周波数成分のモードを含む鋸状波形の電気信号を発生して、その電気信号を励起コイル5に出力する。サンプルに誘導された渦電流から生成される磁場を高感度磁気センサ(SQUID磁束計1)で測定する。測定されて得られた磁場の時間領域の信号値をFFT変換して周波数領域の信号値にして、コンピュータ4の記憶部に格納する。この磁場の周波数領域の信号値は、サンプル上の位置の関数として格納されている。この格納されている信号値から、ソフトウェア等でサンプル内にある欠陥の3次元画像を得る。
請求項（抜粋）：
金属構造物の内部を破壊することなく検査して欠陥を検出する非破壊検査装置において、複数の周波数成分を含む信号を生成する生成手段と、前記信号が入力されることにより電磁波を励起して、当該電磁波を試料である金属構造物に照射する励起コイルと、前記金属構造物から発生する磁場を検出する磁場検出手段と、前記磁場から、磁場の各周波数成分の振幅を算出する算出手段と、を具備することを特徴とする非破壊検査装置。
Fターム (5件)：
2G053AA11
, 2G053BB05
, 2G053BC04
, 2G053CA10
, 2G053DA01
