特許
J-GLOBAL ID：200903041143422856
プラズマディスプレイパネルの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-312990
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149865
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 エージング時間が短縮され、動作中の耐スパッタ性に優れた、すなわち長寿命のプラズマディスプレイパネルの製造方法を得る。【解決手段】 プラズマディスプレイパネルの製造工程は、前面基板の形成工程、背面基板の形成工程および組立工程からなる。前面基板の形成工程は、走査電極/維持電極の形成工程aと、誘電体層の形成工程bと、第一保護膜の形成工程cと第二保護膜の形成工程dとからなる。背面基板の形成工程は、データ電極の形成工程eと、隔壁の形成工程fと、蛍光体の形成工程gとからなる。組立工程は、封着工程hと、排気工程iと、放電ガス封入工程jと、エージング工程kとからなる。第二保護膜は第一保護膜よりもスパッタされやすい膜であり、エージング工程kにおいて除去される。
請求項（抜粋）：
放電空間を挟んで対向配置した2枚の基板を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、一方の基板上に電極および誘電体層を順次形成し、前記誘電体層の上に第一保護膜を形成し、さらに前記第一保護膜の上に、前記第一保護膜よりもスパッタされやすい第二保護膜を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/20 A
, H01J 17/49 Z
