特許
J-GLOBAL ID：200903041381475143
ウェーハ研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-189039
公開番号（公開出願番号）：特開平11-198025
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【課題】ウェーハを研磨する研磨布のドレッシング時期や交換時期を通常の研磨加工中に自動で判定する。【解決手段】本発明は、研磨中におけるウェーハ50の研磨量をセンサ70、72で検出し、そのセンサ70、72からの情報に基づいて研磨量をCPU74で算出する。そして、CPU74は、センサ70、72で得られた実際の研磨量と、RAM84に記憶されている理想の研磨量とを比較し、その研磨量の差に基づいて研磨布16のドレッシング時期、及び研磨布16の交換時期を判定し、その判定内容を表示装置82に表示する。
請求項（抜粋）：
ウェーハを回転する研磨布に押し付けて、ウェーハの表面を研磨するウェーハ研磨装置において、前記ウェーハの研磨量を検出する研磨量検出手段と、研磨時間に応じたウェーハのモデル研磨量が記憶された記憶手段と、前記研磨量検出手段で検出されたウェーハの研磨量と、前記記憶手段に記憶されたモデル研磨量とを比較し、その研磨量の差に基づいて研磨布のドレッシング時期、及び研磨布の交換時期を判定し、その判定内容を出力する制御手段と、前記制御手段から出力された前記判定内容を表示する表示手段と、から成ることを特徴とするウェーハ研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 622
, H01L 21/304
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 622 S
, H01L 21/304 622 R
