特許
J-GLOBAL ID:200903041421021663
III-V族化合物半導体、及びそれを用いた半導体素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-193448
公開番号(公開出願番号):特開2001-024212
出願日: 1999年07月07日
公開日(公表日): 2001年01月26日
要約:
【要約】【課題】 形状、サイズに制限がなく、且つ低コストで、光電気特性(光導電性、光起電流、光起電力、量子効率)に優れ、広範囲の光学ギャップが自由に選べ、光半導体としての機能が高性能で、経時変化が少なく、応答性、耐環境特性及び耐高温性に優れたIII-V族化合物半導体を提供すること。【解決手段】 周期律表におけるIII族元素とV族元素とを主体としてなり、水素原子を0.1原子%〜40原子%含み、且つ、Be、Mg、Ca、Zn、及びSrから選ばれた少なくとも1つの元素をIII族元素とV族元素との原子数の総和に対して100ppm〜20原子%含むことを特徴とするIII-V族化合物半導体である。
請求項(抜粋):
周期律表におけるIII族元素とV族元素とを主体としてなり、水素原子を0.1原子%〜40原子%含み、且つ、Be、Mg、Ca、Zn、及びSrから選ばれた少なくとも1つの元素をIII族元素とV族元素との原子数の総和に対して100ppm〜20原子%含むことを特徴とするIII-V族化合物半導体。
IPC (4件):
H01L 31/10
, H01L 21/205
, H01L 31/04
, H01L 33/00
FI (4件):
H01L 31/10 A
, H01L 21/205
, H01L 33/00 A
, H01L 31/04 E
Fターム (61件):
5F041AA43
, 5F041CA34
, 5F041CA47
, 5F041CA61
, 5F041FF01
, 5F045AA08
, 5F045AA09
, 5F045AA16
, 5F045AB02
, 5F045AB03
, 5F045AB04
, 5F045AB14
, 5F045AB17
, 5F045AB18
, 5F045AC08
, 5F045AC09
, 5F045AC15
, 5F045AC16
, 5F045AC17
, 5F045AC19
, 5F045AD05
, 5F045AD06
, 5F045AD07
, 5F045AD08
, 5F045AD09
, 5F045AD10
, 5F045AF02
, 5F045AF03
, 5F045AF04
, 5F045AF06
, 5F045AF07
, 5F045AF09
, 5F045AF10
, 5F045BB07
, 5F045BB08
, 5F045CA09
, 5F045CA13
, 5F045DA52
, 5F045DA59
, 5F045DA61
, 5F045DA62
, 5F045DA63
, 5F045DA65
, 5F045EE06
, 5F045EE19
, 5F045EH03
, 5F045EH11
, 5F049MB07
, 5F049MB11
, 5F049NA03
, 5F049NA07
, 5F049PA20
, 5F049QA20
, 5F049SS03
, 5F051AA08
, 5F051AA16
, 5F051BA12
, 5F051BA18
, 5F051CA14
, 5F051DA20
, 5F051GA04
引用特許:
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