特許
J-GLOBAL ID：200903041534022526

スパッタリングターゲット及びこれを用いたマスクブランクの製造方法

発明者：
鈴木 寿幸

鈴木 寿幸 について

, 
石原 重徳

石原 重徳 について


出願人/特許権者：
HOYA株式会社

HOYA株式会社 について


代理人 (1件)： 藤村 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-006349
公開番号（公開出願番号）：特開2005-200682
出願日： 2004年01月14日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 傾斜方式のスパッタに使用した際に重力方向のずれをも防止でき、ずれに起因する異常を低減できるようなスパッタリングターゲット等を提供する。【解決手段】 バッキングプレート5と、ボンディング剤30により前記バッキングプレート5と接合されたターゲット材4と、を有するスパッタリングターゲット2において、前記ターゲット材4が図2に示す凸形状を有し、前記バッキングプレート5が前記ターゲット材4の凸形状と互いに嵌り合う図2に示す構造を有し、前記スパッタリングターゲットを傾斜させた際、前記ターゲット材が重力方向に移動しない構造を有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ターゲット材とバッキングプレートがボンディング剤を介して接合されてなるスパッタリングターゲットであって、 前記ターゲット材が、円柱形状に対して底部外周の全周にわたり切り欠き部を設けることにより、前記切り欠き部が無いターゲット主部と、前記切り欠き部によって形成される前記ターゲット主部に対するターゲット突出部とからなる、断面凸状の構造を有し、 前記バッキングプレートが、前記ターゲット材の前記ターゲット突出部及び前記ターゲット主部の切り欠き部側の面の少なくとも一部と互いに隙間無く嵌り合う構造を有し、 前記スパッタリングターゲットは、傾斜させて設置した際、前記ターゲット材が重力方向に移動しない構造を有することを特徴とするスパッタリングターゲット。
IPC (3件)：
C23C14/34 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027
FI (4件)：
C23C14/34 B ,  C23C14/34 A ,  G03F1/08 A ,  H01L21/30 502P
Fターム (8件)：
2H095BB25 ,  2H095BB31 ,  4K029BA21 ,  4K029CA05 ,  4K029DC01 ,  4K029DC02 ,  4K029DC04 ,  4K029DC07
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM