特許

J-GLOBAL ID：200903041595489150

静電チャック装置用接着剤組成物、該装置用シート及びそれを使用した静電チャック装置

発明者： 島 武志 ,  松永 忠生 ,  吉岡 建 ,  土田 雅之
出願人/特許権者： 株式会社巴川製紙所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037646
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230311
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】 高温長時間の熱履歴を受けた後でも十分な接着力、吸着力を有し、さらに多数回のプラズマに対して十分な耐久性を有する静電チャック装置用接着剤、静電チャック装置及び静電チャック装置用シートを提供する。【解決手段】 下記式(1)及び下記式(2)の構造単位が配列したポリイミド樹脂とエポキシ樹脂を含有することを特徴とする静電チャック装置用接着剤組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

下記式(1)及び下記式(2)の構造単位が配列したポリイミド樹脂とエポキシ樹脂を含有することを特徴とする静電チャック装置用接着剤組成物。【化1】[式中、Wは、直接結合、炭素数1〜4のアルキレン基、-O-、-SO2-、又は-CO-を表し、Arは芳香環を1〜4個有する2価の芳香族基を表し、R1及びR6は炭素数1〜4のアルキレン基又は下記式(3)で示される基を表し、【化2】(式中、Alkはケイ素原子に結合する炭素数1〜4のアルキレン基を表す。)、R2〜R5は炭素数1〜4のアルキル基を表し、nは0〜32の整数である。]

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  C09D163/00 ,  C09D179/08 ,  C08J 5/12

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  C09D163/00 ,  C09D179/08 Z ,  C08J 5/12

Fターム (34件)：

4F071AA41A ,  4F071AA42A ,  4F071AA60A ,  4F071AB09B ,  4F071AF19A ,  4F071AF57A ,  4F071AH12 ,  4F071CA01 ,  4F071CB02 ,  4F071CD03 ,  4J038DA032 ,  4J038DB021 ,  4J038DB022 ,  4J038DB051 ,  4J038DB052 ,  4J038DB061 ,  4J038DB062 ,  4J038DB071 ,  4J038DB072 ,  4J038DB091 ,  4J038DB092 ,  4J038DJ021 ,  4J038DJ022 ,  4J038DL081 ,  4J038DL082 ,  4J038NA12 ,  4J038NA14 ,  4J038NA17 ,  4J038NA21 ,  4J038PB09 ,  4J038PC01 ,  4J038PC02 ,  5F031CA02 ,  5F031HA17

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 静電チャック装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-023192   出願人：株式会社巴川製紙所
• プリント基板用耐熱性接着剤フィルム及びその使用方法並びにこれを用いたプリント基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-361176   出願人：新日鐵化学株式会社
• 被覆電気導電体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-194464   出願人：宇部興産株式会社
• 特開平2-027748
  
• 特開平1-240243
  
• 電子部品用接着剤および電子部品用接着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-229199   出願人：株式会社巴川製紙所
• 静電チャック装置用接着シート及び静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-149553   出願人：株式会社巴川製紙所