特許
J-GLOBAL ID：200903041668329806
格子干渉型変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-179099
公開番号（公開出願番号）：特開2002-372407
出願日： 2001年06月13日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：
【要約】【課題】複数の受光素子で検出される光量の均一化を図り、もって検出の精度を高めることを目的とする。【解決手段】光源30からの光束Iを、メインスケール10の回折格子10 ́とは直交する方向に伸びる回折格子100 ́を備えた直交スケール100に入射させ、YZ面内に分離する光束A,Bを生成する。光束A,Bをさらにインデックススケール20において、4本の光束A1,B1,A2,B2に分岐させ、さらにメインスケール10の回折格子10 ́で回折させて回折光A1 ́,B1 ́,A2 ́,B2 ́を生成させる。回折光A1 ́,A2 ́を点CAで混合させ、回折光B1 ́,B2 ́を点CBで混合させる。光の位相を遅らせる位相シフト板200により、位相差を有するA相信号、B相信号が生成される。
請求項（抜粋）：
光束を回折させる反射型回折格子を備えたスケールと、このスケールに向けて光束を出射する光源と、前記光源と前記スケールとの間に配置され前記光源からの光束を前記スケールの測長方向に分岐させる第一光束分岐手段と、前記光源と前記スケールとの間に配置され前記光源からの光束を前記スケールの測長方向と直交する方向に分岐させる第二光束分岐手段と、前期光源から前記第一光束分岐手段及び前記第二光束分岐手段を介して前記反射型回折格子に投影され前記反射型回折格子で回折される複数の光束のうちの少なくとも一つの位相を調整する位相調整手段と、前記反射型回折格子で回折される光束を異なる複数の点において混合させて複数の混合光束を生成する光混合手段と、該複数の混合光束を電気信号に変換する検出器とを備えた格子干渉型変位検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 G
, G01D 5/38 A
2F065AA09
, 2F065BB15
, 2F065BB16
, 2F065DD00
, 2F065EE03
, 2F065FF15
, 2F065JJ05
, 2F065LL35
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065MM02
, 2F065NN05
, 2F065PP22
, 2F065UU07
, 2F103BA06
, 2F103BA31
, 2F103CA03
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103DA01
, 2F103EB16
, 2F103EB24
, 2F103EB32
, 2F103EC10
, 2F103EC13
, 2F103EC15
