特許
J-GLOBAL ID:200903041872688564

圧電共振子、圧電フィルタおよびデュプレクサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 全啓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-373347
公開番号(公開出願番号):特開2002-237738
出願日: 2001年12月06日
公開日(公表日): 2002年08月23日
要約:
【要約】【課題】 スプリアス振動の影響が小さく、適正なインピーダンスを有する圧電共振子を提供する。【解決手段】 圧電共振子10は、厚み縦振動または厚みすべり振動のn次モードを利用した、共振周波数がわずかに異なる複数個の共振子13を直列または並列に接続してなることを特徴とする。共振子13は、少なくとも1層以上の圧電体、もしくは圧電体と誘電体の多層構造からなる振動部20、および振動部に形成される少なくとも1対の対向する電極16、16を含み、電極対向部の平面形状が円形または円形を内包する任意の形状であり、円形の半径をr、電極の対向部における振動部の厚みをtとしたとき、r≧20t/nとなるよう形成される。
請求項(抜粋):
基板と、前記基板に形成され、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極および下部電極を対向させて挟む構造の振動部とを有し、共振子を複数設けた圧電共振子において、前記上部電極および前記下部電極の対向する部分の平面形状が円形または円形を内包する任意の形状であり、共振周波数がわずかに異なる複数個の前記共振子を直列または並列に接続してなることを特徴とする、圧電共振子。
IPC (2件):
H03H 9/56 ,  H03H 9/17
FI (3件):
H03H 9/56 D ,  H03H 9/56 Z ,  H03H 9/17 F
Fターム (8件):
5J108BB07 ,  5J108CC04 ,  5J108DD01 ,  5J108DD02 ,  5J108DD06 ,  5J108EE03 ,  5J108FF04 ,  5J108JJ01
引用特許:
審査官引用 (5件)
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