X線発生装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313964
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161991
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】真空容器内に配置された光学素子への飛散粒子の衝突、付着、堆積を十分に抑制することが可能であり、その結果、光学素子の損傷及び性能低下を十分に防止することができるX線発生装置を提供すること。【解決手段】減圧された真空容器201内の標的部材204に励起エネルギービーム203を照射してプラズマ205を形成させ、該プラズマ205からX線207を取り出すX線発生装置において、前記標的部材204から放出される飛散粒子206を取り込むダクト209であり、少なくとも前記標的部材204の前記励起エネルギービーム203照射位置における法線方向に放出される飛散粒子を取り込むダクト209を設けて、該ダクト209を真空排気装置に接続したことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材から放出される飛散粒子を取り込むダクトであり、少なくとも前記標的部材の前記励起エネルギービーム照射位置における法線方向に放出される飛散粒子を取り込むダクトを設け、さらに該ダクトの内部に前記飛散粒子を散乱させる散乱部材、及び/または前記飛散粒子を捕獲する捕獲部材を設けたことを特徴とするX線発生装置。

IPC (3件)：

H05G 2/00 , G21K 5/02 , G21K 7/00

FI (3件)：

H05G 1/00 K , G21K 5/02 X , G21K 7/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

X線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-046288 出願人：株式会社ニコン
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-068918 出願人：株式会社ニコン
レーザプラズマX線源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-092829 出願人：株式会社ニコン

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