特許
J-GLOBAL ID:200903042183016245
再剥離用水分散型アクリル系粘着シートおよびそれに用いる粘着剤組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 幸久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-135513
公開番号(公開出願番号):特開2006-169496
出願日: 2005年05月09日
公開日(公表日): 2006年06月29日
要約:
【課題】水系で塗工できる水分散型の粘着剤を実現し、特に半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いることができる被着体表面への汚染が少なく、かつウエハ研削時に耐水浸入性が高い再剥離用水分散型アクリル系粘着シートを提供することを目的とする。【解決手段】支持体上にアクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物からなる粘着剤層が設けられ、被着体に貼付後再剥離可能な再剥離用水分散型アクリル系粘着シートであって、前記粘着剤層の引張試験における初期弾性率が0.20〜1.5MPa、最大強度が2.0〜8.0MPa、破断伸びが180〜900%であり、かつ粘着剤層のゲル分率が90%以上である再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
支持体上にアクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物からなる粘着剤層が設けられ、被着体に貼付後再剥離可能な再剥離用水分散型アクリル系粘着シートであって、前記粘着剤層の引張試験における初期弾性率が0.20〜1.50MPa、最大強度が2.0〜8.0MPa、破断伸びが180〜900%であり、且つ粘着剤層のゲル分率が90%以上であることを特徴とする再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。
IPC (4件):
C09J 7/02
, C09J 133/00
, H01L 21/304
, H01L 21/301
FI (4件):
C09J7/02 Z
, C09J133/00
, H01L21/304 622J
, H01L21/78 M
Fターム (7件):
4J004AA10
, 4J004AB01
, 4J004FA05
, 4J040DF021
, 4J040JA09
, 4J040JB09
, 4J040NA20
引用特許: