蒸気発生方法、その装置及び蒸気処理装置並びに蒸気発生用記録媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中本菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-199898
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017097
出願日： 2005年07月08日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】蒸気の生成時間の短縮が図れると共に、液分を含まない処理温度に適した温度の蒸気を安定かつ効率良く生成すること。【解決手段】液を含む流体例えばN2ガスに霧状のIPAを混合した流体を蒸気発生装置10の気化ユニット11に送って流体を蒸発させる気化工程と、蒸発された流体を昇温ユニット12に送って蒸発した流体を所定の温度まで昇温する昇温工程とを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

液を含む流体を実質的に蒸発させる気化工程と、蒸発した流体を所定の温度まで昇温する昇温工程と、を有することを特徴とする蒸気発生方法。

IPC (3件)：

F22B 1/28 , F22B 35/00 , F22G 5/00

FI (3件)：

F22B1/28 Z , F22B35/00 Z , F22G5/00

Fターム (5件)：

3L021AA04 , 3L021BA08 , 3L021CA06 , 3L021DA05 , 3L021FA28

引用特許：

出願人引用 (1件)

蒸気発生方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-130244 出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社本山製作所

審査官引用 (6件)

蒸気発生方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-130244 出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社本山製作所
触媒反応装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-349381 出願人：株式会社瀬田技研, オムロン株式会社
殺菌装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-212831 出願人：森口哲雄, 株式会社サンコーサービス

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