特許
J-GLOBAL ID:200903042292450044
マイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-553476
公開番号(公開出願番号):特表2007-523485
出願日: 2005年02月01日
公開日(公表日): 2007年08月16日
要約:
マイクロリソグラフィ投射露光システムの投射レンズは、複数の光学要素(15、16、18、20、L1〜L4)を備える。選択された光学要素(20)、たとえば、ミラーは、アクチュエータ(30、130、330、430、530)によって生成される機械的力を加えることによって変形する。マニピュレータ(26a、26b、26c、126a、126b、226a、226b、326a、326b、326c、426a、426b、426c、526b)を使用して、光学要素、特に、変形された光学要素(20)の1つの空間位置が、アクチュエータ(30;130、330、430、530)によって加えられる力に応じて変えられる。これによって、取り付けユニット(22a、22b、22c、122a、122b、222a、222b)の相互作用とアクチュエータ(30、130、330、430、530)によって生成される力によって起こる、傾斜動きまたは位置の他の変化が、少なくとも部分的に相殺される。
請求項(抜粋):
複数の光学要素(15、16、18、20、L1〜L4)と、投射対物レンズ(10)の選択された光学要素(20)を変形させることができる機械的力を加える少なくとも1つのアクチュエータ(30;130;330;430;530)とを有しているマイクロリソグラフィ投射露光装置の投射対物レンズであって、
前記光学要素(20)のうちの1つの光学要素の空間位置を、好ましくは、前記アクチュエータ(30;130;330;430;530)によって加えられる前記力に応じて自動的に修正する少なくとも1つのマニピュレータ(26a、26b、26c;126a、126b;226a、226b;326a、326b、326c;426a、426b、426c;526b)を有することを特徴とする投射対物レンズ。
IPC (3件):
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 5/10
FI (3件):
H01L21/30 516A
, G03F7/20 521
, G02B5/10 B
Fターム (15件):
2H042DA20
, 2H042DD05
, 2H042DD12
, 2H042DD13
, 5F046BA03
, 5F046BA05
, 5F046CB01
, 5F046CB02
, 5F046CB03
, 5F046CB12
, 5F046CB25
, 5F046DA01
, 5F046DA13
, 5F046DA27
, 5F046DB03
引用特許:
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