特許
J-GLOBAL ID:200903042498252354

コレットおよびそれを用いてチップ部品をピックアップする方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高島 一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-245212
公開番号(公開出願番号):特開2004-087677
出願日: 2002年08月26日
公開日(公表日): 2004年03月18日
要約:
【課題】チップ部品の一方の板面に当接させるための凹部10を有し、当接状態で凹部10内を減圧することによって該チップ部品を吸着しピックアップし得るコレットであって、ピックアップ時に変形が生じるような薄いチップ部品であっても、破損に至るような強い吸引を用いずにピックアップし得るコレットおよびそれを用いたピックアップ方法を提供すること。【解決手段】該凹部10内には、該凹部10の内部側面101および/または内部底面102から突起した突起体12が設けられ、該突起体12は、凹部10に当接したチップ部品の板面に接触する構成とされていることを特徴とするコレット、および、ピックアップすべきチップ部品の少なくとも1つの外周縁と、上記凹部10の開口縁との距離が0.001〜0.3mmとなるように、該コレットをチップ部品に当接させる工程を有する、チップ部品をピックアップする方法。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
チップ部品の一方の板面に当接させるための凹部を有し、当接状態で凹部内を減圧することによって該チップ部品を吸着しピックアップし得るコレットであって、 該凹部内には、該凹部の内部側面および/または内部底面から突起した突起体が設けられ、該突起体は、凹部に当接したチップ部品の板面に接触する構成とされていることを特徴とするコレット。
IPC (1件):
H01L21/52
FI (1件):
H01L21/52 F
Fターム (1件):
5F047FA08
引用特許:
審査官引用 (6件)
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