特許
J-GLOBAL ID：200903042772697287
圧電体薄膜素子、インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-168330
公開番号（公開出願番号）：特開2007-335779
出願日： 2006年06月19日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】優れた圧電性能を有し、かつ高湿度環境下において高電圧で駆動しても絶縁性の低下がなく高い信頼性を有する圧電薄膜素子、この圧電体薄膜素子を用いたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドを印字手段として備えたインクジェット式記録装置を得ること。【解決手段】圧電体層14を、化学量論組成と比較してPb組成量の多い層14a(1〜3)と、化学量論組成と比較してPb組成量の少ない層14b(1,2)との積層構造にする。Pb組成量の多い層14aに高湿度環境下で電気化学的な反応によって発生する二酸化鉛によるリークパスが発生したとしても、Pb組成量の少ない層14bではリークパスが発生しないので、上下電極間での絶縁性の低下を防ぐことができる。また、Pb組成量の少ない層14bだけの単層膜と比較して、Pb組成量の多い層14aを含むので、製造マージンの低下も防ぐことができ、良好な圧電性能が実現できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ペロブスカイト型結晶構造を有するPbを含む酸化物で成膜した圧電体層と、前記圧電体層の厚み方向両側の層面それぞれに成膜した電極層とを備えている圧電体薄膜素子において、
前記圧電体層は、一方の電極層と他方の電極層との間の成膜構造が化学量論組成と比較してPb組成量の多い層と化学量論組成と比較してPb組成量の少ない層との積層構造であることを特徴とする圧電体薄膜素子。
IPC (6件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/18
, H01L 41/22
, C23C 14/08
H01L41/08 C
, B41J3/04 103A
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, C23C14/08 K
, C23C14/08 N
2C057AF67
, 2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 4K029AA04
, 4K029AA06
, 4K029AA24
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BC00
, 4K029CA06
, 4K029DC05
, 4K029DC09
, 4K029DC16
, 4K029DC35
, 4K029EA01
