特許
J-GLOBAL ID：200903042882082334

角速度センサ及びその製造方法

発明者：
田村 昌弥

田村 昌弥 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-010228
公開番号（公開出願番号）：特開2002-213962
出願日： 2001年01月18日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
要約：
【要約】【課題】 複数の質量部を連結して2軸周りの角速度を検出することにより、センサの検出性能を高めつつ、その小型化、コストダウンを図る。【解決手段】 中央質量部3、外側質量部4および枠状質量部5,6を支持梁7,9,10によって連結し、支持梁7の節部7Aを固定部11によって基板2に固定する。また、振動発生部15は、質量部3,5と質量部4,6とを支持梁7を介して互いに逆位相で振動させる。そして、角速度検出部19は、中央質量部3が支持梁9を介してY軸方向に変位するときの変位量をZ軸周りの角速度Ω1として検出し、角速度検出部23は、外側質量部4が捩れ支持梁10を介してZ軸方向に変位するときの変位量をY軸周りの角速度Ω2として検出する。これにより、角速度センサ1は、2軸周りの角速度Ω1,Ω2を同時に検出することができる。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうちY軸方向に並んで配置され振動発生手段によってX軸方向に互いに逆位相で振動する複数の質量部と、該各質量部をX軸方向に変位可能に連結するX軸方向支持梁と、該X軸方向支持梁と前記基板との間に設けられ該X軸方向支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記複数の質量部のうち一部の質量部と前記X軸方向支持梁との間に設けられ該一部の質量部をY軸方向に変位可能に支持するY軸方向支持梁と、前記複数の質量部のうち残余の質量部と前記X軸方向支持梁との間に設けられ該残余の質量部をZ軸方向に変位可能に支持するZ軸方向支持梁と、前記一部の質量部に角速度が作用するときに該一部の質量部がY軸方向に変位する変位量をZ軸周りの角速度として検出する第1の検出手段と、前記残余の質量部に角速度が作用するときに該残余の質量部がZ軸方向に変位する変位量をY軸周りの角速度として検出する第2の検出手段とによって構成してなる角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (7件)：
2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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