角速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186529
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337884
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】支持基板と素子基板との異なる熱膨張係数の作用による駆動と検出の共振周波数の差を縮小して検出感度を向上させる。【解決手段】支持基板1上には、支持基板1と熱膨張係数を異なる材料からなる支持固定部2a,2bを形成する。そして、支持固定部2a,2bには、第1支持梁4,5を介してX軸方向に振動可能に支持される第1振動体3と、この第1振動体3に第2支持梁7,8を介してY軸方向に振動可能に支持される第2振動体6を設ける。また、第1支持梁4,5は、第1振動体3の振動方向に対して直交方向に伸長して設け、それらの両端は第1振動体3の端部に結合すると共にそれらの中間部は支持固定部2a,2bにそれぞれ結合させる。

請求項（抜粋）：

支持基板と、この支持基板に設けられた支持固定部と、該支持固定部に結合された第1支持梁と、該第1支持梁により支持された第1振動体と、該第1振動体に結合された第2支持梁と、該第2支持梁により支持されてコリオリ力発生方向に振動する第2振動体と、これら第1,第2振動体を一定の方向に振動させる駆動手段と、前記第2振動体に加わるコリオリ力に基づく前記第2振動体の変位を検出する検出手段とからなる角速度センサにおいて、前記第1支持梁は、少なくとも前記第1振動体の振動方向と直交する方向に伸長し、その両端が前記第1振動体に結合され、長さ方向の中間部を前記支持固定部に結合したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Fターム (20件)：

2F105AA02 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB04 , 2F105BB09 , 2F105BB14 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA36 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA13 , 4M112FA05

引用特許：

審査官引用 (6件)

振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-303069 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-163851 出願人：アイシン精機株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-203560 出願人：アイシン精機株式会社

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