特許
J-GLOBAL ID：200903043197289291

エネルギー分散型X線検出器及びその真空排気方法

発明者：
木村 一彦

木村 一彦 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-233036
公開番号（公開出願番号）：特開2002-048868
出願日： 2000年08月01日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：
【要約】【課題】 システムとしてコンパクトで安価であり、また操作性や保守性の面において優れたエネルギー分散型X線検出器を提供すること。【解決手段】 エネルギー分散型X線検出器において、X線検出素子を冷却するための冷凍機3は別に、物理吸着剤7を冷却する為の冷凍機8と前記物理吸着材7を加熱する為のヒーター9を備えたものを用いた。
請求項（抜粋）：
冷凍機もしくは電子冷却素子によってX線検出素子を冷却するようにしたエネルギー分散型X線検出器において、前記X線検出素子を冷却するための冷凍機もしくは電子冷却素子とは別に、物理吸着剤を冷却する為の冷凍機もしくは電子冷却素子と前記物理吸着材を加熱する為のヒーターを備えていることを特徴とするエネルギー分散型X線検出器。
Fターム (4件)：
2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088GG30 ,  2G088JJ35
引用特許：
審査官引用 (7件)
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