特許
J-GLOBAL ID：200903043256088343
磁気抵抗素子の感応特性評価装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-253232
公開番号（公開出願番号）：特開2003-069111
出願日： 2001年08月23日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：
【要約】【課題】 磁気抵抗素子の感応特性の評価を高精度に実施するにあたり、その実現性に優れた磁気抵抗素子の感応特性評価装置を提供することにある。【解決手段】 磁気抵抗素子の感応特性評価装置は、2つの電磁石を有する電磁石ユニット42を備え、各電磁石の一対の磁極58はその電磁石の一対のコアから延びるヨーク56の先端にて形成され、電磁石のソレノイド外周よりもウエハWを載置するウエハテーブル12側に位置付けられている。
請求項（抜粋）：
多数の磁気抵抗素子が形成されたウエハを載置し、前記ウエハを所定温度まで加熱可能なウエハテーブルと、前記ウエハテーブルを前後左右上下の3軸方向に加え、水平面内にて回転させることで、前記ウエハの任意の磁気抵抗素子を検査位置に位置付けて検査対象素子とするテーブル移動手段と、前記検査位置の上方に配置され、前記検査対象素子を任意の方向に横切る水平な外部磁界を形成する電磁石ユニットと、前記検査対象素子の入出力端子に電気的に接触可能な複数のプローブを有し、これらプローブを通じて前記検査対象素子に所望の入力を印加可能であるとともに、前記外部磁界に対する前記検査対象素子の感応出力を取出すプローブホルダとを備え、前記電磁石ユニットは、前記検査位置上方の水平面に配置され、対向する一対のコアおよびこれらコアにそれぞれ装着されたソレノイドを有する電磁石と、前記各コアから前記検査位置に向けてそれぞれ延び、前記ソレノイドの径方向でみて先端同士が前記ソレノイドの外周を越えた前記検査位置の直上にて磁極として近接対向する延長磁路形成部材とを含むことを特徴とする磁気抵抗素子の感応特性評価装置。
IPC (8件)：
H01L 43/12
, G01R 31/26
, G01R 33/09
, G01R 33/12
, G01R 35/00
, H01L 21/66
, H01L 43/06
, H01L 43/08
H01L 43/12
, G01R 31/26 J
, G01R 33/12 Z
, G01R 35/00 M
, H01L 21/66 B
, H01L 43/06 U
, H01L 43/08 Z
, G01R 33/06 R
2G003AA00
, 2G003AA10
, 2G003AG03
, 2G003AG16
, 2G003AH05
, 2G017AA01
, 2G017AD55
, 2G017CB24
, 2G017CB26
, 4M106AA01
, 4M106AB07
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106BA20
, 4M106CA10
, 4M106DD30
